一、產(chǎn)品特點(diǎn)及用途

     1.產(chǎn)品特點(diǎn)

       該設(shè)備是一種新型工業(yè)級干燥設(shè)備，采用長軸耐高溫大功率軸流風(fēng)機(jī)，不銹鋼渦輪扇葉，結(jié)合獨(dú)特設(shè)計(jì)風(fēng)道，智能PID溫控器結(jié)合SSR固態(tài)繼電器控制高效不

       銹鋼發(fā)熱器加熱，形成溫度均勻的高溫?zé)犸L(fēng)，對箱體內(nèi)部進(jìn)行加熱，確保烘箱內(nèi)部達(dá)到理想的溫度環(huán)境。

     2. 產(chǎn)品用途

       產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

二、產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù);

1.箱體結(jié)構(gòu)

     1.1.內(nèi)部材質(zhì)：采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板，滿焊處理，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE。

     1.2.外部材質(zhì)：外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑，耐刮傷，造型美觀。

     1.3.保溫材質(zhì)：采用100K高級保溫棉，六面保溫?cái)酂幔睾穸葹?0mm-120mm，保溫性能好。

     1.4. 箱門結(jié)構(gòu)：箱門于箱體結(jié)合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊，保溫性能好，抗老化，環(huán)保無污染。

     1.5. 載物層架：可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距，空間利用率高。

2. 溫度控制系統(tǒng)：采用日本三菱PLC+7寸彩色觸摸屏人機(jī)交互界面，定值/程序（程控100段）兩種控制模式，帶傳感器斷線報(bào)警功能，帶超溫警報(bào)保護(hù)功能，確

        保產(chǎn)品運(yùn)行安全。

3. 控溫方式

     3.1.訊號來源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。

     3.2.輸出被控組件：SSR固態(tài)無節(jié)點(diǎn)輸出，確保加熱功率精準(zhǔn)。

4. 箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

     4.1. 送風(fēng)方式：箱內(nèi)采用單向水平運(yùn)風(fēng)，兩側(cè)風(fēng)道內(nèi)強(qiáng)壓送風(fēng)。

     4.2. 風(fēng)道結(jié)構(gòu)：風(fēng)道兩側(cè)采用高密度沖孔風(fēng)板，精準(zhǔn)控制導(dǎo)流板角度，確保箱內(nèi)溫度均勻性。

     4.3. 送風(fēng)裝置：采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達(dá)+大口徑不銹鋼渦輪扇葉，渦輪經(jīng)水平糾正處理，確保運(yùn)風(fēng)平穩(wěn) ，噪聲≤65dB。

     4.4. 送風(fēng)裝置安全保護(hù)系統(tǒng)：帶超溫過載過流保護(hù)功能，確保馬達(dá)及風(fēng)機(jī)的使用壽命和安全性能。

     4.5電加熱系統(tǒng)：采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器，潔凈不產(chǎn)塵(無縫潔凈不銹鋼覆套，高絕緣導(dǎo)熱改性氧化鎂澆筑，無名火，安全不漏電）

5.氧含量控制系統(tǒng)

    5.1氮?dú)馀叛蹩刂葡到y(tǒng)采用雙路氮?dú)鈱?dǎo)入回路，各向箱內(nèi)提供100L/min + 200L/min的氮?dú)猓柯放涮走M(jìn)口電磁閥，雙流量自動切換，在箱內(nèi)達(dá)到無氧環(huán)境

       后，自動切換至低流量氮?dú)猓蟠蠊?jié)省氮?dú)庀牧浚部筛鶕?jù)工藝制程要求，自行設(shè)定，滿足多種工藝需求。

    5.2 排氧時間≤30 min，帶耐高溫氧含量控制儀，氧化鋯氧含量傳感器，耐高溫自吸泵一套，可實(shí)時檢測氧含量并顯示實(shí)際數(shù)值，配備氧含量超標(biāo)報(bào)警功能。

6.整機(jī)安全保護(hù)系統(tǒng)

    6.1. 采用三重超溫保護(hù)系統(tǒng)，確保箱體在運(yùn)行過程中的整體安全性能（詳見技術(shù)參數(shù)）。

    6.2. 箱體內(nèi)部電器保護(hù)系統(tǒng)（確保箱體內(nèi)部電器運(yùn)行平穩(wěn)，安全可靠）：

    6.2.1.超溫防止器（獨(dú)立限溫，超溫?cái)嚯姡?/p>

    6.2.2.相序保護(hù)（欠壓欠相保護(hù)）；

    6.2.3.馬達(dá)過電流保護(hù)；

    6.2.4.控制線路保險(xiǎn)絲；

    6.2.5.電熱過電流保護(hù)；

    6.2.6.無熔絲開關(guān)。